氣體流量傳感器的核心是加熱器和溫度傳感器，可以根據(jù)氣體流動時相應的熱傳遞檢測氣體流動的速度和方向，對通過芯片的空氣或其他氣體流量有靈敏快速的響應。根據(jù)工作原理，氣體流量傳感器可分為應變、壓電、壓阻、電感、電容、光電、電阻、電容、電感、電壓、霍爾、光電、光柵、熱電偶等氣體流量傳感器。

MEMS氣體質(zhì)量流量計產(chǎn)品原理，采用具有自主知識產(chǎn)權(quán)的MEMS芯片作為傳感器核心部件，當沒有氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時，傳感器周圍保持穩(wěn)定的溫度場（溫度分布）,當氣體介質(zhì)流過傳感器芯片時，溫度場因為流體介質(zhì)帶走熱量導致局部溫度重新分布。局部溫度場的變化量取決于流體介質(zhì)的質(zhì)量及流速。集成在芯片上的傳感器對此溫度分布進行測量，通過校準，專門設計的信號處理電路和智能控制軟件可精確測量實際的介質(zhì)質(zhì)量流量.

氣體流量傳感器的使用功能

氣體流量傳感器具有顯示功能：能同時顯示累積流量、瞬時流量、壓力和溫度。2、氣體流量傳感器具有通訊功能： 可以與分站的智能口進行RS485通訊，并能同時輸出累積流量、瞬時流量、壓力和溫度。

氣體流量傳感器是質(zhì)量流還是體積流的呢？

其實，要看什么樣的流量計，差壓式流量計通過積算儀可以顯示體積和質(zhì)量，本身直接測量出來的是體積量，在計算儀內(nèi)輸入該狀態(tài)下的密度換算出質(zhì)量，像渦街也是直接測量出的是體積量，渦輪流量計和羅茨流量計超聲流量計，都是體積量，科里奧利質(zhì)量流量計為質(zhì)量流量