電容位移傳感器是一種非接觸式位移測量傳感器，用于導(dǎo)體材料的位移、振動測量，量程從25um到10mm不等，精度在納米級別，常用于機床主軸振動、壓電材料振動位移測量電容位移傳感器。

　傳感器是一種檢測裝置，能感受到被測量的信息，并能將感受到的信息，按一定規(guī)律變換成為電信號或其他所需形式的信息輸出，以滿足信息的傳輸、處理、存儲、顯示、記錄和控制等要求。傳感器一般由敏感元件、轉(zhuǎn)換元件、變換電路和輔助電源四部分組成在工業(yè)相機中，傳感器也起著非常重要的作用，它可以幫助相機更好的采圖并計算結(jié)果，一款相機的性能是否優(yōu)秀往往要看相機所用到的傳感器是否性能出色。

　常見的有變截距型，便面積型，變介電常數(shù)型。但是用于位移測量的通常是采用變截距原理的。也就是用被測物體（需要具有導(dǎo)電性）作為電容的一個極板，用傳感器作為電容的另外一個極板。會影響這個電容電容值的因素就是距離，正對面積和間隙介質(zhì)。如果想用電容傳感器測位移，就要確保后兩者不會變化?？梢詼y量導(dǎo)體材料和非導(dǎo)體材料（測量非導(dǎo)體材料時，采用變介電常數(shù)原理）。絕對誤差可以達到0.1微米，分辨率達到0.0375納米。但是要求不能有油污和水等影響因素（恒定的油污和水也是可以補償?shù)?，不恒定的就會有問題），否則會影響電容的介電常數(shù)。

　可以采用電容式測量方法，可以在線檢測壓電微位移、振動臺，電子顯微鏡微調(diào)，天文望遠鏡鏡片微調(diào)，精密微位移測.傳感器是一個單一的通道，高性能線性位移測量系統(tǒng)，創(chuàng)新的電容位移測量技術(shù)，提供了納米測量能力，成本低，適合測量任何導(dǎo)電目標。